Laseri puhastamine on tehnika, mida kasutatakse saasteainete eemaldamiseks pooljuhtide vahvlitest, pakkudes täpset ja mitte - kontaktmeetodit nende tundlike komponentide puhtuse säilitamiseks. See on eriti väärtuslik pooljuhtide tootmisel, kuna elektroonilise seadme tootmisel on vaja põlisi pindu.
https://youtu.be/35wo9j5pxek?si Iren {4 }Nnp7TafccqQJavvg
Kuidas see töötab:
Laseri puhastamine kasutab kõrge - intensiivsusega laserimpulsse, et eemaldada laser ablatsiooni kaudu saasteainete nagu tolm, jääk või osakesed. Saasteaine imendub laserienergiat, põhjustades selle pinnalt aurustumise, sublimaalse või väljumise, samas kui alusmaterjal jääb suuresti mõjutamata.
Laserkoristamise eelised pooljuhtide vahvlite jaoks:
Täpsus:
Laserid võivad sihtida suure täpsusega saasteaineid, minimeerides vahvli õrna struktuuri kahjustamise riski.
Non - kontakt:
Erinevalt traditsioonilistest puhastusmeetoditest ei puuduta laserid vahvlit füüsiliselt, vähendades kriimustuste või purunemise riski.
Keskkonnasõbralik:
Laseri puhastamine vähendab või välistab sageli vajaduse tavapärastes puhastusprotsessides kasutatavate karmide kemikaalide järele.
Mitmekülgsus:
Erinevaid laserseadeid saab reguleerida erinevate materjalide ja saastumise tüüpide jaoks.
Konkreetsed rakendused:
Osakeste, metalliioonide ja keemiliste lisandite eemaldamine räni vahvlitest.
Vahvli pindade puhastamine ja litograafiamaskid.
Laseri tuvastamise ajal sisse viidud saasteainete eemaldamine.
Näide: uuring näitas, et laseri puhastamine võib räni vahvlitest suure efektiivsusega eemaldada erineva suurusega osakesed (sealhulgas 1 μM volframosakesed). Veel üks uuring näitas väikeste alumiiniumoksiidi osakeste eemaldamist, kasutades laseršoki puhastamist.
