Vaakumkatmisseadmetes töötavad katte sisemised komponendid teatud aja jooksul, pinnale kogunenud kilekiht muutub järjest paksemaks, kilekihi enda pinge suureneb ja samal ajal on erinevatel aegadel ladestunud kilekihtide vahelise nakkumise probleem, mis viib selleni, et komponendi pinna kilekiht kukub kergesti maha, katmisprotsessis tekib proovi pinnale palju reostust, mis mõjutab oluliselt katte saagist . Seetõttu tuleb õõnsuse sisemisi komponente regulaarselt puhastada. Katteseadmete puhastamine avaldab väga positiivset mõju vaakumkatmismasina efektiivsusele ja kvaliteedile ning võib märkimisväärselt parandada kõigi vaakumsüsteemi seinte ja muude komponentide pindade stabiilsust erinevates töötingimustes.
Katteseadme puhastatavate sisemiste komponentide hulka kuuluvad kambri sisesein, iooniallika võre, pöörlev tugi ja küttetraat.
Traditsiooniline puhastusmeetod ja puudused
1. Liivapritsravi. Kuna oksiiddielektriline kile on vaakumelektronkiirega kõrgtemperatuuriline aur-sadestamine, on kilekihi kõvadus kõrge, tavaliselt kasutatav liivapaberi poleerimismeetod pole mitte ainult aeganõudev ja töömahukas, vaid ka puhastusefekt ei ole hea. Kui kasutatakse ainult liivapritsiga töötlemist, kuna alumiiniumisulami pinna kõvadus ei ole kõrge, kinnistuvad liivapritsi käigus proovi pinnale liivaterad, mida ei saa puhtalt eemaldada ning need terad pudenevad katmisprotsessi käigus maha kõrge tugevuse tõttu. - komponentide pöörlemiskiirus, mis mõjutab katte saagist.
2. Elektrokeemiline puhastus ja elektropoleerimine ning ultrahelipuhastusmeetodid. Mitte ainult pinnakattemasina osade lahtivõtmise vajadus kulutab palju aega ja energiat, vaid ka demonteerimisprotsess on vältimatu saaste ning nõuab teatud puhastusmaterjalide tarbimist, eriti suurte esemete puhastamisel, ja sellega kaasnevaid ebamugavusi.
3. Käsitsi laserpuhastus. Käeshoitava laserpuhastuspea kaudu saab kattemasina igasse nurka käsitsi puhastada, kuid selle puhastusmeetodi pikaajaline kasutamine ei lase operaatoril mitte ainult laserpuhastust saasteainetest sisse hingata ja suuri esemeid puhastada, saab käeshoitav teravustada. ei tohi olla stabiilne, mõjutades puhastusefekti ja tõhusust ning töömahukust.
Seetõttu on mõistliku puhastusmeetodi väljatöötamine, eriti mitte-eemaldatava katmismasina sisepinna, funktsionaalsete struktuuriosade pinna puhastamise, töömahukuse vähendamise, mugavama puhastamise ning puhastamise kvaliteedi ja tõhususe parandamise jaoks, olnud lühike aeg. plaadi valupunkt katmismasina igapäevane hooldus.
Katteseadmete laserpuhasti ülevaade
Lainepikkusega optoelektrooniliste katmisseadmete puhastusmasin on spetsiaalselt välja töötatud katmismasina sees toimuvateks puhastustöödeks, kasutades kattemasina sisemuse ja selle komponentide puhastamiseks laserit. Süsteem sisaldab katte puhastuspead, süsteemiklambrit, roboti kinnitust, koostöörobotit, roboti alust, 3D-nägemiskaamerat, impulss-kiudlaserit, juhtpulti, operatsioonisüsteemi, veejahutit, fiiberklambrit, õhuallika seadet ja elektrilist tasakaaluliikurit mitme nurga all ja igakülgseks puhastamiseks kattekihi sees, ilma katmismasinat lahti võtmata, ületades tõhusalt olemasolevad madala efektiivsuse, reostuse, suuremahuliseks puhastamiseks sobimatud meetodid ja muud probleemid. See lahendab tõhusalt madala efektiivsuse ja saasteprobleemid ning ei sobi suuremahuliseks puhastamiseks.
Laserpuhastusmasina eelised katmisseadmete jaoks
1. Spetsiaalselt disainitud laserpuhastuspea katmismasinas, integreeritud gaasikaitse ja puhastus- ja tolmueemaldus ning fikseeritud fookusmehhanism. Stabiilse puhastustöö tagamiseks vähendage objektiivi hooldust.
2. Põhjalik seadmete konfiguratsioon, spetsiaalse elektrilise juhtimissüsteemi projekteerimine, koordineeritud juhtrobot, laserkauguse automaatne jälgimine, laserpuhastuspea tavapärane töö, vastava induktsiooni tuvastamise ja juhtimise konfiguratsioon, et tagada süsteemi ohutu töö. Määrake erinevatele puhastusaladele vastav puhastustee ja looge vastav operatsioonifailide teek. Kasutage automaatse puhastamise kaugjuhtimispulti.
3. Laserkauguse mõõtmine jälgib automaatselt puhastuslaseri töökaugust, et tagada puhastusefekti järjepidevus ja parandada puhastamise kvaliteeti.
4. Seadistage tolmu adsorptsiooni- ja eemaldamisfiltrid, et tagada keskkonnakaitse heitmete eest. Kujundage ümbris tolmust lendava keskkonna isoleerimiseks, et veelgi parandada keskkonnakaitset ja ohutust.
5. Seadistage veejahuti, et tagada laseri stabiilne ja pikk tööaeg.
6. Seadistatud jälgimiskaameraga, et jälgida ja kontrollida puhastuskvaliteeti ning teha vastavaid ekraanipilte, et säästa puhastuskvaliteedi jälgitavust.
7. Üldine kerge disain, kompaktne struktuur, varustatud elektrilise tasakaaluautoga, lihtne ja paindlik liikumine.
"Intelligentne puhastus" aitab ehitada nutikat tehast
Katteseadmete laserpuhastusmasinadon mittekontaktsed, neil pole tarvikuid, ei ole lisatud reostust, kõrge juhtimistäpsus, kahjustused või väikesed kahjustused jne, automaatsed puhastustoimingud, on tõhusad ja stabiilsed. Puhastuspea disain realiseerib kerge, integreeritud puhumiskaitsekonstruktsiooni, tolmu imemise, eemaldamise jne eeliseid. 6-teljega koostöörobotit kasutatakse pikaajalise automaatse puhastustoimingu teostamiseks, vältides käsitsi käsipuhastuse ebastabiilsust suure katmismasina sees, samas kui roboti tööpiirkond on personali ohutuse tagamiseks juhitav. Lisaks saab 3D-nägemisrobotite kasutamist puhastussüsteemi tööfookuse automaatseks jälgimiseks juhtida ja juhtida automaatseks kokkupõrgete vältimiseks, samas kui konkreetset algse asendi reguleerimist süsteemi toe ja kattekihi vahel saab suunata ja jälgida. tööprotsess reaalajas, parandades puhastusmasina automatiseerimise efektiivsust ja täpsust. See aitab ehitada intelligentse katmistöökoja ning parandada kvaliteeti ja tõhusust.
