Nagu me kõik teame, on maailmas ainult üks tootja, kes suudab toota EUV litograafiat, see onHollandi ASML.
Põhjus, miks maailmas on ainult üks tootja, seisneb selles, et ASML on sidunud palju olulisi tootjaid, nagu Saksamaa optikafirma Zeiss (Zeiss), Cymer (USA) jaTRUMPF (Saksamaa).
ASML on sidunud need tootjad oma vankriga investeeringute, omandamise, aktsiate omamise, uurimiskeskuste rajamise jne kaudu ning need tootjad on ilmselt ainsad tootjad maailmas, kes suudavad neid tooteid toota, nii et lõppkokkuvõttes saab maailmas ainult ASML. toota EUV litograafiat.
Hiljuti aga jooksis ASML-i oluline tarneahel Hiinasse Shenzhenisse tehast ehitama, selle Shenzheni tütarettevõte asus elama Baoani Hiina-Saksa (Euroopa) tööstusesitlusparki.
See tootja on Saksamaa TRUMPF Group (TRUMPF), see on ASML-i EUV litograafia, maailma ainus laserallika tarnija.
TRUMPF tooted EUV litograafias, kui olulised? Kõigepealt kuulake, kuidas ma selgitan EUV litograafia põhimõtet, siis saate aru.
Lihtsamalt öeldes on EUV litograafia põhimõte keskendunud kolmele suurele süsteemile, EUV ultraviolettvalgusallika süsteemile, objektiivi peeglisüsteemile ja tabelisüsteemile.
Spetsiifiline protsess seisneb laseri kasutamises äärmusliku ultraviolettvalguse 13,5 nm lainepikkuse ergastamiseks, mis seejärel korrigeeritakse, et moodustada kontrollitud valgusvihk, mis seejärel projitseeritakse fotomaski lauale, enne kui projitseeritakse läbi objektiivse peegli särituslauale. ja lõpuks söövitatud fotoresistiga kaetud räniplaadile.
Kuidas saadakse üks EUV UV-valgusallika süsteemidest, pommitades tina (Sn) metallipiiska 30 kW võimsusega CO2 laseriga, aurustades selle plasmaks ja lõpuks saades EUV valguse lainepikkusel 13,5 nm.
Seda 30 kW CO2 laserit tarnib maailmas ainsana TRUMPF.
Ärge alahinnake seda CO2 laserit, sellel on 457 329 osa, kaabli pikkus süsteemis on kuni 7 322 meetrit ja kaal 17 090 kg, mis on EUV litograafia üks olulisemaid põhikomponente.
Nüüd jooksis TRUMPF Hiinasse tehast ehitama, kavatsus on selge, see tähendab optimistlik Hiina laserturu suhtes ja veelgi pikemas perspektiivis optimistlik Hiina litograafiaturu suhtes, tulevikus võib Hiinaga teha koostööd EUV litograafia ehitamiseks. .
Tegelikult jookseb juba rohkem kui üks ASML-i tarneahel Hiinasse tehase ehitamiseks, seal on KMWE ja teised tootjad, ka Hiinasse tehast ehitama.
Praeguse suundumuse kohaselt võime optimistlikult eeldada, et ei pruugi kaua minna, kui Hiina litograafiatehnoloogia on suur samm edasi ja isegi EUV litograafia toodangu maht võib samuti oodata, kas te arvate?
