Hiljuti on Hiina Teaduste Akadeemia mikrosüsteemi ja infotehnoloogia instituut välja töötanud suure jõudlusega MEMS-i kiiresti peegli, millel on integreeritud nurgaandurid. Peeglil on suur suurus, väikese paketi maht, suurepärane jõudlus ja suur potentsiaal laser -satelliidiühenduses.
Kiirelt peegeldaval peeglil kulus arendamiseks ligi viis aastat. See võtab kasutusele topeltkihilise heterogeense integratsiooni ja vahvli taseme sidumistehnoloogia ning selle maht on ainult 1- yuani mündi suurus.
See ületab traditsiooniliste mehaaniliste kiiresti peegeldavate peeglite ja originaalsete MEMS-i kiiresti peegeldavate peeglite tehnilised kitsaskohad, luues kosmoseklassi toote μradi osutava täpsusega, mis vastab satelliit-levitatavate rakenduste ultrakõrgete jõudlusnäitajatega.
Mobiiltelefonide ekraanist inspireerituna kasutas meeskond kiibisnurga andurite integreerimiseks Silicon Piezoresistive tüve põhimõtet ja struktuuriinnovatsiooni kaudu suurendati tundlikkust 63%, optimeerides tala juhtimise täpsust.
Testi tulemused näitavad, et konkreetse sagedusega vastab nurga täpsus standardile ja maksimaalne dünaamiline pinna deformatsioon on ainult 2 nanomeetrit.
Ametnik tegi analoogia, mis on samaväärne kõigil tõusudel ja mõõnadega peeglil, mille jalgpalliväljaku suurus ei ületa juuste läbimõõtu, vastates peegli pinnale pikamaalasside kommunikatsiooni rangetele nõuetele.
