Kuumtöötlemine - suurema energiatihedusega laserkiire (mis on kontsentreeritud energiavoog) kiiritatakse töödeldava materjali pinnal. Materjali pind neelab laserienergiat ja tekitab valgustatud piirkonnas termilise erutuse protsessi, nii et materjali pinna (või kattekihi) temperatuur tõuseb, põhjustades metamorfismi, sulamist, ablatsiooni, aurustumist ja muid nähtusi.
Suure koormuse energiaga "külmtöötlus" (ultraviolett) footonid võivad materjalides (eriti orgaanilistes materjalides) või ümbritsevas keskkonnas keemilisi sidemeid purustada, põhjustades materjalide termilise töötlemise hävimise. Sellel külmtöötlusel on eriline tähtsus lasermärgistuse töötlemisel, kuna see ei ole termiline ablatsioon, vaid külm koorimine, mis purustab keemilised sidemed ilma "kuumakahjustuse" kõrvalnähuta, seega ei mõjuta see töödeldud sisekihti ja selle lähiümbrust pind Tekitab kuumutamise või termilise deformatsiooni. Näiteks elektroonikatööstuses kasutatakse eksimer-lasereid keemilise aine õhukese kile kandmiseks substraadimaterjalile, et luua pooljuhtsubstraadis kitsad sooned.
