Laser on üks kahekümnenda sajandi loodusteaduste peamisi leiutisi. 1960. aastal toodeti maailmas esimest laserit. Järgnevalt on laialdaselt kasutatud mitmesugustes valdkondades, nagu laseritugevus, laserprotsess ja laserside, hea sidususe, väikeste vaenlase nurkade ja suure energia kontsentratsiooniga laserid. 1980. aastate alguses hakkasid inimesed kasutama suure energiatarbega laserkiire, et valgustada tooriku pinda, põhjustades mustuse, rooste või katte pinda kohe aurustuma või eemaldades ja eemaldades tõhusalt kinnituse või katte pinnal. objekti suurel kiirusel. Materjali pinna puhastamise protsess on laserpuhastus. Viimase kümne aasta jooksul on laseriga puhastus laborist praktilisteks rakendusteks, mida kasutatakse mitmesugustes kummitoodete vormides, silikoonitoodete vormides, et eemaldada õli, rooste, kultuurimälestisi, mikroelektroonilisi plokke ja muid materjalide puhastamist ning saavutada väga hea majanduslik sotsiaaltoetused.
1980. aastate keskel, et rahuldada tööstusliku tootmise vajadusi, et eemaldada väikesi osakesi mälumallidel, on laserpuhastus saanud laialdast tähelepanu ja teadustööd ning ametlikult tunnistatud tõhusaks puhastamismeetodiks, mida teadlased on püüdnud kasutada. Tavapärased puhastamismeetodid, nagu mehaaniline puhastus, keemiline puhastus ja ultraheli puhastamine, et eemaldada matriitsile kinnitatud submikroonosakesi, on vähem kui ideaalsed. Kuna osakeste adsorptsioonijõud mallil (van der Waals jõud, elektrostaatiline jõud jne) on üsna hämmastav, näiteks 1 μm suurused osakesed, on selle adsorptsiooni jõud malli pinnal umbes 106 korda suurem kui selle raskusjõudu ja mehaanilist puhastusmeetodit ei saa lõpule viia. Väikeste osakeste eemaldamine, keemiline puhastus võib viia korrosiooni ja malli uuesti saastumiseni. Ultraheli puhastamiseks on vaja, et mall asetataks helivibratsiooni keskele, mis põhjustab malli murdumise. Sellistes tingimustes toodetakse laseriga puhastamist. Sellisel juhul hakkasid inimesed seda süstemaatiliselt uurima: selle välimus on lahendanud mudeli pinnal saastumise probleemi ja laseriga puhastamise tehnoloogia arendamise, seda on laialdaselt kasutatud ka paljudes teistes valdkondades.
1980. aastate lõpus leidsid teadlased, et substraadi pinna katmine vedelate abikihtidega soodustas saastavate osakeste eemaldamist. Nende hulgas on vesi selline tõhus abikiht. Puhastatava toote pinna katmise meetod vedelikukilega, mille paksus on millimeetrites ja seejärel kiiritades laseriga saastunud osakeste eemaldamiseks, on see, mida me hiljem nimetame aururõhku (märg) laseriga, võrreldes kuiva tüüpi. Laseripuhastusel, aurupuhastusel on suurem puhastustõhusus. Alles 1990-ndate aastate alguses jõudis laser puhastamine tõepoolest tööstusesse. Tegelikult avastasid peaaegu 1987. aastal kolm uurimisrühma iseseisvalt laserpuhastuse mõju. Nende hulgas sai Zapka juhitud uurimisrühm esimese patendi laserite puhastamise kohta ja tunnustas selle rakendusvõimalusi tööstuses. Teine uurimisrühm on Max Plancki biokeemia- ja füüsikainstituut, teadlased. Räni matriits oli kaetud kullaosakestega, mille suurus oli 35 nm, ning seejärel kiiritati lämmastiku molekulaarne laser otse tahkele pinnale ja selle tulemusena, kullaosakesed pinnal olid edukalt eemaldatud, samas kui räni matriits ei olnud kahjustatud, mis näitab, et laserit kasutati tahke pinna puhastamiseks. Saastunud osakesed on teostatavad.
2001. aastal tegid Fourrier ja tema kaastöötajad aururõhu puhastamise katseid erinevate kujude, suuruste ja materjalidega osakestel, et leida laserite intensiivsus, mis on vajalik erinevate osakeste jaoks kümnete kuni sadade nanomeetrite vahemikus. Künnis on sama. See „laialdaselt järjekindel läviväärtus” pakub soodsamat toetust auru laseri puhastamise tööstuslikuks kasutamiseks, et eemaldada mikronite osakesi. Kuigi laserpuhastuse arendamine põhineb väikeste tahkete osakeste puhastamisel pinnal, on teostatud uuringuid teiste rakenduste kohta. Näiteks 1970. aastatel leiti pärast uurimist ja katsetamist, et laserid puhastavad ajaloolisi hooneid ja kunstiteoseid. On teostatavus. 1992. aastal kasutas UNESCO edukalt laseriga puhastamist Inglismaa Yasmini katedraali parandamiseks. Mõned Euroopa riigid on ka lasersid puhastanud Amiens 'katedraali (Prantsusmaa), Püha Stefani katedraali (Viin, Austria), Tundmatu sõduri hauda (Varssavi, Poola). Samuti on teadlaste tähelepanu pälvinud laseri kasutamine eemaldamisel. Woodroffe et al. Ameerika Ühendriikides on selles valdkonnas palju tööd tehtud.
1990. aastatel töötasid Saksamaal ja Jaapanis asuvad teadlased laservärvide eemaldamiseks välja suure võimsusega TEA-CO2 laserid ja kasutasid neid rea eksperimentide läbiviimiseks. Alles 2005. aastal avaldasid teadlased pabereid õhusõidukite eemaldamise kohta suure võimsusega TEA-CO2 laseritega. Erinevatest riikidest pärit teadlased on teinud ka palju uurimuslikke uuringuid rehvivormide kasutamise, pinnatöötluse, kosmosejäätmete ja muude aspektide kohta ning saavutanud märkimisväärseid tulemusi.
