1｜Arutelu alumiiniumoksiidi ja selle rakenduste üle Alumiiniumoksiidi keraamikat kasutatakse tänu oma isolatsioonile, kõrgele -temperatuurikindlusele, kulumiskindlusele, korrosioonikindlusele ja kõrgele keemilisele stabiilsusele laialdaselt sellistes valdkondades nagu pooljuhid, uus energia ja tipptasemel{2}elektroonika. Eelkõige võib alumiiniumoksiidi keraamika hästi kohaneda äärmuslike keskkondadega, nagu vaakum ja kõrged temperatuurid, muutes need sobivaks pooljuhtseadmete protsessikomponentide tooraineks. Ainuüksi suurepäraste materjalide olemasolust ei piisa; need materjalid nõuavad ka suurepärast töötlemistehnikat kõrgekvaliteedilistes{5}}seadmetes või protsessides, et täielikult realiseerida nende omadused ja saavutada suuremaid läbimurdeid täppistootmises. Näiteks pooljuhtseadmetes kasutatavad gaasidüüsid vajavad tugevat korrosioonikindlust, mis saavutatakse tavaliselt alumiiniumoksiidi keraamiliste materjalidega. Düüsi optimaalse juhtimise saavutamiseks on vaja täpset mikro-augu töötlemise tehnoloogiat, et luua hea mikro-ava struktuur, mis võimaldab täpselt juhtida gaasi/vedeliku voolu kiirust ja mahtu. Seetõttu tugevdab seos alumiiniumoksiidi ja heade töötlemismeetodite vahel üksteist.
2｜ Alumiiniumoksiidi mikropooride töötlemise arutamine Keraamika töötlemine on alati olnud väljakutse. Esiteks on see kõva ja rabe materjal; traditsiooniliste mehaaniliste puurimismeetodite kasutamine põhjustab kergesti mikro-pragusid ja lõhenemist, mistõttu saagikust on raske tagada. Teiseks on see isolatsioonimaterjal ja mittejuhtiv, mistõttu ei saa kasutada ülitäpset{5}elektrilahendust. Enne femtosekundiliste laserite tulekut oli alumiiniumoksiidi keraamiliste mikropooride kõrge-täpsus ja kvaliteet{8}}töötlemine keeruline ülesanne. See tähendab, kuidas saab hinnata suurt täpsust ja kõrget kvaliteeti? Teisisõnu, kuidas hinnata, kas mikropooride töötlemise näitajad on head või halvad? Usun, et on kaks aspekti: mikropooride suurus ja mikropooride morfoloogia.
1. Mikropoori suurus hõlmab: ava läbimõõtu ja selle täpsust, ümarust, kitsenemist jne. Need kolm indikaatorit peegeldavad peamiselt mikropoori kolmemõõtmelist suurust, täpsus aga näitab kõrvalekallet ideaalse väärtuse ja töötlemistehnoloogia abil saavutatava tegeliku väärtuse vahel.
2. Mikropooride morfoloogia hõlmab: pinnamorfoloogiat ja külgseina morfoloogiat. Need kaks indikaatorit uurivad peamiselt seda, kas ava sissepääsul ja siseseinal on sulamiskiht, killud, pritsmed, praod või pinna siledus. Need indikaatorid mõjutavad valguskiirte, gaaside ja vedelike läbitungimist ning mõjutavad ka toote töökindlust ja kasutusiga.
3｜Alumiiniumoksiidi femtosekundilise lasertöötluse arutamine Femtosekundlasel kui tipptasemel mikroaukude töötlemise tehnoloogial on alumiiniumoksiidi töötlemisel olulisi eeliseid. Oma ülilühikese impulsi laiuse ja ülikõrge tippvõimsusega suudab see eemaldada mis tahes tahke materjali ilma sulaolekut läbimata. Koos mikromeetri-skaala peengraveeringuga on mikroaugud väga täpsed ja suurepärase ümarusega. Veelgi enam, femtosekundiliste laserite külmtöötlemine takistab alumiiniumoksiidi pinnale või siseseintele uuesti valatud kihtide, mikropragude teket ega põhjusta materjali kollasust ega mustamist. Teisisõnu, olenemata töötlemismeetodist või alumiiniumoksiidi keraamika koostise vahekorrast suudavad femtosekundilised laserid saavutada üli-kõrge täpsuse ja kvaliteetse-mikroaukude töötlemise. Praegu saavad femtosekundilised laserid saavutada mikroaukude töötlemise minimaalse läbimõõduga 0,02 mm (paksus 0,2 mm) ja täpsusega ±1 μm. Kas teate muid tehnoloogiaid, mis võimaldavad sellist mikroaukude töötlemist saavutada?
